精密零件加工精度以納米，甚至以原子單位(原子晶格（gé）距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特（tè）種精密零件加工的方（fāng）法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等（děng），使（shǐ）這些（xiē）能量超越原（yuán）子間的聯合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格（gé）變形，以達到超（chāo）精密（mì）加（jiā）工（gōng）的目的。

  在此階段采用大的切削（xuē）速度，小的進給量和切削深度，切（qiē）除上道工序所（suǒ）留下的精加工餘量，使零件表（biǎo）麵達到圖樣的技術要求。選擇精（jīng）密零件加工，不僅能有效（xiào）改善材料品質、零件精度，發揮其機能，還能（néng）使零（líng）件的耐用程度大大提高，促使整個機械的品（pǐn）質得到改善。

  精密（mì）機械加工對提高零件（jiàn）的尺寸精度也有好處（chù），所以直接的效果就是可以使得零（líng）件（jiàn）達成互換性，進而增加零件的耐磨性和使用壽命。對於精密零部件的加工主要是尺寸方麵的要求，比如圓柱（zhù）直（zhí）徑是多少，有嚴格的要求，正負誤差在規定要求範（fàn）圍之內才是合（hé）格（gé）零件，否則都是（shì）不合格零件。

  長寬高也有具體嚴格要求，正負誤差同樣有規定，比如一個內嵌式圓柱體，如果直徑太大，超（chāo）過誤差允許範圍內，就會（huì）造成插不進去的情況，如果實際直徑太小，超過誤差允許負值下限了，就會造（zào）成插進（jìn）去太（tài）鬆，不牢固（gù）的問題發生。精密機械加（jiā）工，並（bìng）不是什麽材料都可以進行精密加（jiā）工的，比如一些硬度太大的材料如果超過了加工機件的硬度，有（yǒu）些特殊材料是不適宜精密精密加工的